Risoluzione Subnanometrica e Posizionamento XYZ ad Alta Velocità

Stage di Nanoposizionamento Piezo per la Scansione, l’Allineamento e la Metrologia di Prossima Generazione

  • Maggiore produttività con corse fino a 300 µm e tempi di step-and-settle <10 ms

  • Accuratezza insuperabile grazie a una linearità del 99,97% e una ripetibilità di 2 nm

  • Modelli selezionati disponibili in consegna rapida per dare slancio ai progetti

 
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Gli stage piezo XYZ PIMars ridefiniscono i limiti della precisione in applicazioni di scansione, allineamento e metrologia. Coniugando risoluzione subnanometrica con un’elevata rigidezza e una risposta dinamica, offrono l’accuratezza e la velocità richieste in applicazioni di ricerca e produzione di nuova generazione.

Aysenur Ünal, Product Manager presso PI – Piezo Systems and Actuators

Sei Vantaggi Chiave degli Stage di Nanoposizionamento per Applicazioni di Precisione

  • Movimento ultrapreciso – integrazione semplificata: risoluzione subnanometrica, linearità del 99,97% e stabilità a lungo termine grazie ai sensori capacitivi. L’eccellente planarità di scansione (linearità e piattezza ±30 nm lungo l'asse Z) e il design compatto consentono movimenti planari accurati e una facile integrazione anche in spazi ridotti.
  • Accesso ottico versatile: l’apertura utile consente l’uso della luce trasmessa e le operazioni di allineamento del fascio, offrendo la massima flessibilità in applicazioni di fotonica e microscopia.
  • Massima stabilità: le guide a flessione senza gioco garantiscono un movimento privo di usura e di attrito, con elevata rigidezza e massima resistenza a urti, vibrazioni e variazioni di temperatura.
  • Elevata dinamica: i dispositivi piezo con misurazione della posizione in parallelo permettono di compensare in tempo reale i crosstalk, assicurando un’accuratezza di tracking a livello nanometrico in applicazioni ad alta velocità. Questo si traduce in un maggiore rendimento, un migliore controllo qualità e una riduzione dei costi nei settori industriale e della ricerca.
  • Durata eccezionale: gli attuatori piezo PICMA® completamente isolati offrono una durata fino a dieci volte superiore rispetto ai modelli tradizionali, con affidabilità comprovata oltre i 100 miliardi di cicli.
  • Disponibilità immediata: i modelli P-561, P-562 e P-563 sono disponibili per la spedizione immediata, garantendo tempi di consegna eccezionalmente brevi.

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  • Verifica la compatibilità: controlla facilmente ingombri e corse
  • Misurazioni virtuali: le specifiche possono essere verificate in anticipo

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  • Tabelle delle specifiche
  • Disegni tecnici e immagini
  • Varianti disponibili

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Domande frequenti

I nostri stage di nanoposizionamento XYZ sono l'ideale per applicazioni che richiedono la massima precisione, quali:
 

  • Microscopia e Scienze della Vita: Imaging a super-risoluzione, confocale e AFM, Z-stacking, studi su cellule vive e bionanotecnologia. L’eccellente planarità di scansione assicura immagini 3D nitide.
  • Nanotecnologia: manipolazione e assemblaggio di nanostrutture con la massima precisione, in applicazioni di ricerca e industriali.
  • Fotonica e Ottica: allineamento di fibre e componenti ottici, interferometria e regolazione fine di ottiche di precisione. L’apertura centrale consente l’utilizzo della luce trasmessa o l’esecuzione di compiti di allineamento del fascio.
  • Semiconduttori e Metrologia: ispezioni su wafer, litografia, allineamento di maschere e rilevamento di difetti, in cui sono fondamentali livelli di precisione nanometrica ed elevata dinamica.

Gli stage XYZ offrono corse di 45, 100, 200 o 300 µm, per coprire un'ampia gamma di applicazioni, dalla scansione al posizionamento su wafer, fino all’interferometria.

Grazie alla configurazione automatica, al rapido cambio dei componenti e all’integrazione completa con controllori piezo, software e librerie PI, l’integrazione risulta immediata. Il design compatto assicura un’installazione agevole anche in applicazioni con limitazioni di spazio.

I sensori capacitivi con controllo ad anello chiuso monitorano costantemente la posizione reale, compensando in modo attivo isteresi e creep per garantire un’accuratezza subnanometrica ripetibile.

Gli stage di nanoposizionamento costituiscono il cuore della ricerca e della produzione moderne. Assicurano precisione, stabilità e velocità subnanometriche, indispensabili per sostenere i continui progressi nei settori dei semiconduttori, della fotonica e della bionanotecnologia

Sì. Il design privo di polimeri e lubrificanti garantisce una ridotta degassificazione, rendendoli ideali per applicazioni in alto vuoto e UHV a 10⁻⁹ hPa. Gli stage PIMars sono disponibili in configurazioni fino a sei assi per il posizionamento multidimensionale complesso e anche per vuoto e applicazioni criogeniche; tempi di consegna forniti su richiesta

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