Soluzioni di Posizionamento per il Miglioramento del Throughput e Abilitare il Prossimo Nodo Tecnologico nella Produzione di Semiconduttori

Oggi, la tecnologia dei semiconduttori rappresenta uno dei settori industriali più importanti del mondo. Spiana la strada ai progressi fatti nella tecnologia dei processori, nell'immagazzinamento dei dati, nell'elaborazione dei segnali e nell'optoelettronica e, quindi, favorisce la prossima generazione di microprocessori, chip di memoria e semiconduttori di potenza. Questi componenti semiconduttori sono il prerequisito per gli sviluppi essenziali nella tecnologia 6G, Internet of Things (IoT), Cloud e Edge Computing, o veicoli elettrici e autonomi. Allo stesso tempo, questi mercati in crescita stanno ponendo elevate richieste ai produttori di semiconduttori: Circuiti integrati (IC) ancora più piccoli e complessi con una maggiore densità funzionale e un consumo energetico ridotto, cicli di innovazione tecnologica e di prodotto più brevi, volumi più elevati e crescente pressione sui costi.

Ogni componente dell'attrezzatura e ogni macchina utilizzata dai produttori di dispositivi integrati (IDM) o dalle aziende di fonderia per la produzione di chip semiconduttori deve seguire questi requisiti. E anche ognuna delle fasi di produzione complesse e delicate - sia nello sviluppo delle tecnologie legate al processo che nelle numerose fasi di lavorazione a cui è sottoposto un wafer di silicio.

La litografia è una delle fasi di processo cruciali nella lavorazione dei wafer. È qui che si gettano le basi per la funzionalità dei chip, cioè la velocità del processore, la capacità di memorizzazione, i requisiti di spazio e il consumo di energia. Durante il ripetitivo processo di esposizione, le strutture più piccole per i circuiti stampati, i transistor e altri componenti devono essere trasferiti sul wafer di silicio.

I processi di misurazione e ispezione sono necessari in tutti i punti critici del processo di produzione per garantire l'alta qualità e l'affidabilità dei prodotti finali e anche il rendimento della produzione di chip ad alta incidenza di costi.

In molte fasi di produzione, la capacità di spostare componenti con precisione nanometrica e persino sub-nanometrica e con alta dinamica, o di mantenere una posizione con precisione per un lungo periodo di tempo, gioca un ruolo cruciale.

PI Supporta i Fornitori di Apparecchiature di Semiconduttori in Tutto il Mondo con Soluzioni di Movimento e Controllo ad Alta Precisione e Affidabilità per Applicazioni Quali:

Produzione di fotomaschere: Scrittura, ispezione e riparazione delle maschere
Taglio dei wafer: Taglio del wafer dal monocristallo di silicio (lingotto)
Strutturazione della resistenza: Litografia DUV e EUV, litografia nanoimprint (NIL)
Ispezione del wafer e della maschera (microscopia ottica/elettronica): Rilevamento di guasti strutturali, difetti e particelle
Metrologia dei wafer: Misura della dimensione critica (CD), offset di sovrapposizione e spessore dello strato
Ispezione dei wafer: Verifica della funzionalità e della qualità delle strutture fotoniche dei circuiti integrati fotonici (PIC)
Cubettatura dei wafer: Separazione basata sul laser dei chip dal wafer di silicio
Produzione back-end: Incollaggio di fili e matrici, packaging, test di chip e collegamenti di matrici

PI offre inoltre soluzioni di posizionamento al di fuori del processo di produzione vero e proprio, ad esempio, per le attrezzature per lo sviluppo tecnologico, per la qualificazione degli utensili, per la riparazione delle maschere o per la produzione di schede probe.

I Vantaggi di Avere PI come Tuo Partner

Ampia gamma di tecnologie di movimento e controllo ad alta precisione
L'alta gamma di produzione verticale fornisce un'elevata flessibilità di progettazione
Affidabilità a lungo termine dei componenti e del sistema per un'elevata disponibilità
Strategia della Copia Esatta per garantire un'affidabilità costante
Supporto in loco per garantire tempi di risposta e disponibilità rapidi
Accordi sul livello di servizio (SLA) personalizzati
Produzione in camere bianche secondo ISO 5 con speciale considerazione dei requisiti EUV
Un ampio portafoglio di brevetti assicura un vantaggio competitivo

50 Anni di Esperienza sul Mercato, Tecnologie Avanzate e Assistenza in Tutto il Mondo per la Massima Disponibilità

PI offre 50 anni di esperienza nella tecnologia piezoelettrica e nel nanoposizionamento, una produzione caratterizzata da un'ampia gamma tecnologica e di produzione per poter sviluppare e fornire componenti e sistemi perfettamente adattabili al rispettivo processo: A partire da sensori, attuatori piezoelettrici, nonché sistemi e motori attraverso sistemi di movimento su cuscinetti ad aria con azionamenti per motori lineari fino a controllori, moduli di azionamento, software e firmware.

Inoltre, il motion controller basato su EtherCAT®e sulla >> soluzione di azionamento di ACS, una filiale di PI, consentono un controllo flessibile e ad alta precisione di complessi sistemi multiasse per essere utilizzati nella produzione di semiconduttori. Per esempio, impiegando controlli gantry intelligenti o servocontrollo per un jitter subnanometrico da fermo.

Come fornitore di lunga data dei produttori di apparecchiature a semiconduttori, PI è in grado di comprendere i requisiti dell'industria dei semiconduttori e lavora a stretto contatto con i suoi clienti fin dalla fase di progettazione per selezionare soluzioni in grado di soddisfare i requisiti attuali e supportare le future tendenze tecnologiche e nodi tecnologici.

Con accordi individuali di service (SLA) e centri di servizio globali, PI è anche in grado di rispondere ai requisiti con breve preavviso e quindi di supportare performance di processo affidabili. Grazie all'alta qualità e all' affidabilità dei componenti e dei sistemi - basati su approfonditi test a lungo termine, produzione in camere bianche con i più alti standard di pulizia e una Strategia di Copia Esatta - PI fornisce ai propri clienti un'alta disponibilità delle soluzioni.