Stage Flexure Piezo Lineari

Gli scanner ed i nanoposizionatori PI combinano risoluzione nanometrica e precisione di guida con un minimo crosstalk. Ciò li rende particolarmente adatti per applicazioni di riferimento nel campo della metrologia, per processi microscopici, per l'interferometria o in sistemi di ispezione per la produzione di chip a semiconduttori. Sono disponibili stages piezo lineari equipaggiati con gli attuatori piezo PICMA® e guide a flessione con corse fino a 1.5 mm.

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Stages Lineari Piezo a Flessione

P-630 High Dynamics Piezo Nanopositioning System

1 Axis with Large Aperture

P-753 LISA Linear Actuator and Stage

Dynamic and Stable in Position

P-752 High-Precision Nanopositioning Stage

Highly Dynamic and Stable Piezo Scanner with Extremely Accurate Guiding
PI P-750

P-750 Piezo Nanopositioning System

High-Load Piezo-Driven Nanopositioning Systems with Direct Metrology

P-611.1 Linear Piezo Positioning System

Inexpensive, Compact Linear Positioning System

P-620.1 • P-629.1 PIHera Linear Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration