Stage Flexure Piezo Lineari

Gli scanner ed i nanoposizionatori PI combinano risoluzione nanometrica e precisione di guida con un minimo crosstalk. Ciò li rende particolarmente adatti per applicazioni di riferimento nel campo della metrologia, per processi microscopici, per l'interferometria o in sistemi di ispezione per la produzione di chip a semiconduttori. Sono disponibili stages piezo lineari equipaggiati con gli attuatori piezo PICMA® e guide a flessione con corse fino a 1.5 mm.