Stage Flexure Piezo Lineari

Gli scanner ed i nanoposizionatori PI combinano risoluzione nanometrica e precisione di guida con un minimo crosstalk. Ciò li rende particolarmente adatti per applicazioni di riferimento nel campo della metrologia, per processi microscopici, per l'interferometria o in sistemi di ispezione per la produzione di chip a semiconduttori. Sono disponibili stages piezo lineari equipaggiati con gli attuatori piezo PICMA® e guide a flessione con corse fino a 1.5 mm.

Stages Lineari Piezo a Flessione

P-753 LISA Linear Actuator and Positioning Stage

Dynamic and Stable in Position

P-752 High-Precision Nanopositioning Stage

Highly Dynamic and Stable Piezo Scanner with Extremely Accurate Guiding

P-750 Piezo Nanopositioner

High-Load Piezo-Driven Nanopositioner with Direct Position Measuring

P-611.1 Linear Piezo Positioner

Inexpensive, Compact Linear Stage

P-620.1 • P-629.1 PIHera Linear Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration

Stages Piezo a Flessione Verticali

P-620.Z - P-622.Z PIHera Vertical Precision Positioner

Variable Travel Ranges and Axis Configuration

P-733.Z High Dynamics Z Nanopositioning Stage

Direct Position Measuring and Clear Aperture

P-612.Z Piezo Z Stage

Compact Nanopositioner with Aperture

P-611.Z Piezo Z Stage

Compact Nanopositioner