Precisione Estrema, Ingombri Minimi

Assi Lineari Miniaturizzati con Azionamento Inerziale Bifase per Posizionamenti con Precisione Nanometrica e Stabilità a Lungo Termine

Posizionamento Accurato e Stabile per le Applicazioni High-Tech più Esigenti

Tra le principali sfide delle moderne applicazioni di posizionamento high-tech figurano un posizionamento stabile nel lungo periodo, movimenti riproducibili su scala nanometrica, design compatto e una configurazione flessibile per l’integrazione in spazi ristretti. Anche una deviazione minima può compromettere la funzionalità. Per questo, i requisiti in termini di risoluzione, stabilità e capacità di integrazione sono elevati. L'asse lineare miniaturizzato B-421 BIX è stato sviluppato per soddisfare in modo affidabile queste esigenze tecniche.

 

Perché sceglierli?
 

  • Precisione eccezionale: Minimo incremento di movimento 10 nm
  • Stabilità: Meccanismo autobloccante per garantire la stabilità del posizionamento nel tempo
  • Resilienza: Carico utile e forza di azionamento elevati
  • Salvaspazio e versatile: Compatto e impilabile per adattarsi facilmente a configurazioni multi-asse
  • Posizionamento preciso: Alta risoluzione e riproducibilità

 

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Modellazione e Orientamento del Fascio Ottico di Precisione

Nei sistemi moderni ad alta precisione, la stabilità nel posizionamento dei componenti ottici, spesso su scala nanometrica, è un fattore cruciale per ottenere risultati affidabili. Il controllo di un fascio ottico richiede soluzioni che possano garantire il posizionamento stabile nel tempo di specchi, diaframmi e lenti, oltre a un allineamento con precisione nanometrica, per un orientamento del fascio preciso e ripetibile. La richiesta di sistemi di posizionamento compatti, in grado di effettuare movimenti con precisione nanometrica e facilmente integrabili in design multiasse, è in crescita. Si tratta di un’esigenza particolarmente sentita ai fini della qualità del fascio nel settore dei semiconduttori, ad esempio per la metrologia dell'overlay e in applicazioni di microscopia a super-risoluzione, quali i metodi TIRF e STED.

Gli assi lineari miniaturizzati B-421 BIX portano la precisione a un nuovo livello nei processi di controllo qualità per il settore dei semiconduttori, proprio là dove le soluzioni tradizionali cedono il passo. Il design compatto in combinazione con movimenti su scala nanometrica garantiscono ai nostri clienti un controllo qualità affidabile e processi produttivi ottimizzati.

Dr. Cameron Hughes, Product Manager presso PI

Dati importanti in sintesi:

  • Minimo incremento di movimento 10 nm
  • Dimensioni: 25 x 11 mm (larghezza x altezza)
  • Corsa da 13 a 33 mm
  • Risoluzione: 6 nm
  • Forza di azionamento massima 2,5 N
  • Carico utile massimo 0,5 kg (movimento sull'asse X) e 0,15 kg (movimento sull'asse Z)
  • Software intuitivo PIMikroMove

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