Tecnologia dei Semiconduttori

I processi litografici sono la ragione per la quale i chip diventano sempre più piccoli e per cui possono essere realizzate strutture estremamente fini su wafer di silicio. La microscopia a forza atomica (AFM) consente di effettuare misure di superficie alla massima risoluzione fino al livello atomico, consentendo così metodi di ispezione completamente nuovi nella produzione dei semiconduttori. I dispositivi piezo hanno reso possibile questi progressi tecnologici grazie alle loro prestazioni e alla loro affidabilità.

 

Posizionamento di lenti nelle lenti litografiche
Sistemi di nanoposizionamento per processi litografici 3-D